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CO2激光和等离子体清洗提高石英基片损伤阈值

Effects of CO2 laser and vacuum plasma cleanings on silica-oil-and-grease polluted quartz substrates

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采用连续CO2激光和真空等离子体相结合的方法对石英基片进行清洗.通过光学显微图、水接触角、透过率和损伤阈值测量分别表征了CO2激光和等离子体对真空硅脂蒸发物污染过的石英基片的清洗效果.研究表明:对于真空硅脂蒸发物污染后的石英基片,可以先采用低能量的CO2激光进行大面积清洗,再用真空等离子体进行精细清洗.光学显微图像表明:清洗后的基片表面的油珠被清除干净;水滴接触角由63°下降到4°;在400 nm附近,基片透过率由92.3%上升到93.3%;损伤阈值由3.77 J/cm2上升到5.09 J/cm2.

李绪平、祖小涛、袁晓东、蒋晓东、吕海兵、郑万国、唐灿、李珂、向霞、郭袁俊、徐世珍、袁兆林

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电子科技大学,物理电子学院,成都,610054

中国工程物理研究院,激光聚变研究中心,四川,绵阳,621900

石英基片 硅油脂 激光清洗 等离子体清洗 激光损伤阈值

国家高技术研究发展计划(863计划)新世纪优秀人才支持计划

NCET-04-0899

2007

强激光与粒子束
中国工程物理研究院 中国核学会 四川核学会

强激光与粒子束

CSTPCDCSCD北大核心
影响因子：1.008
ISSN：1001-4322
年,卷(期)：2007.19(10)
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