钽电解电容器具有较高的电容密度和超高的可靠性,因此被广泛应用于各高精尖领域.然而传统钽电解电容器阳极是利用钽粉烧结工艺制作而成,这种制备工艺存在形成的孔洞无序不均匀,烧结难度大等缺点,使得内部孔洞小,阴极材料难以渗入,无法实现大电容量和耐高电压.本文针对以上问题,提出一种新型的制备方法.实验研究了脉冲直流电源蚀刻钽电解电容器箔的方法,获得了较高的表面积放大效果.系统研究了电解液组成和电源参数对钽箔蚀刻的影响,并筛选出最佳实验条件.在最佳条件下,90 V化成后,比电容达59.54 nF/mm2,较光箔电容量提高了 3.2倍.该方法能够有效提高钽电解电容器的比电容量,在高电压化成下达到较高.
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