山西能源学院学报2019，Vol.32Issue(4) ：100-102.

管式PECVD镀膜均匀性的研究

杨飞飞 张雁东 崔龙辉
山西能源学院学报2019，Vol.32Issue(4) ：100-102.
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管式PECVD镀膜均匀性的研究

杨飞飞 1张雁东 1崔龙辉1
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作者信息

  • 1. 山西潞安太阳能科技有限责任公司,山西 长治 046000
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摘要

本文主要研究管式PECVD后期使用中的镀膜均匀性问题,通过对镀膜沉积的工艺条件、石墨舟饱和工艺参数的分析研究,找出最优的沉积条件与参数,经过改善后,电池片镀膜整体质量有很大提升,片内与片间镀膜颜色的一致性得到保障.

关键词

PECVD/电池片/镀膜/石墨舟

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出版年

2019
山西能源学院学报
山西煤炭管理干部学院

山西能源学院学报

CHSSCD
影响因子：0.196
ISSN：2096-4102
被引量2
参考文献量3
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