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深能级瞬态谱仪样品台系统的改进

Improvement of the sample stage system of deep level transient spectrometer

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深能级瞬态谱仪能检测半导体中微量杂质、 缺陷的深能级及界面态,经过全面的数据分析,可以确定杂质和缺陷的类型、 含量、 陷阱密度、 随深度的分布、 陷阱上载流子的激活能以及陷阱中心对自由载流子的俘获截面信息等.在使用过程中存在温度控制不理想、 样品架不稳定两大问题.通过对深能级瞬态谱仪样品台系统的相关部分进行改进和改造,解决了上述问题,提高了实验的准确度,提高了实验效率,拓宽了测试样品的种类.

李芸、马瑶、杨治美、赖力、黄铭敏

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四川大学物理学院,四川 成都 610064

四川大学微电子技术四川省重点实验室,四川 成都 610064

深能级瞬态谱仪 样品台系统 实验仪器

四川大学2017年实验技术立项基金

20170023

2021

10.3969/j.issn.1672-4305.2021.01.055

实验室科学
南开大学　中国高等教育学会

实验室科学

影响因子：0.805
ISSN：1672-4305
年,卷(期)：2021.24(1)
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