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集成电路光刻工艺虚拟仿真实验教学建设

Construction of virtual simulation experiment teaching for integrated circuit lithography process

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针对集成电路工艺实验教学中存在的大型设备短缺、 场地经费受限、 实验条件苛刻等问题,提出了搭建具备选课、资源库、答疑室和教学评价等功能的开放式教学管理信息化平台.阐述了集成电路光刻工艺在虚拟仿真技术中的典型应用,充分发挥了虚拟仿真实验的生动、直观、安全等优点,激发了学生学习的积极性和主动性,培养了学生的创新精神和工程实践能力,满足了新工科背景下的金课建设需求.

兰馗博、赵毅强、张宁、程思璐、秦国轩

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天津大学 微电子学院, 天津 300072

天津大学 天津市成像与感知微电子技术重点实验室, 天津 300072

集成电路 光刻 虚拟仿真 实践教学 新工科建设

201801142008201977TJUXF20180205

2021

10.3969/j.issn.1672-4305.2021.04.040

实验室科学
南开大学　中国高等教育学会

实验室科学

影响因子：0.805
ISSN：1672-4305
年,卷(期)：2021.24(4)
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