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微电子工艺教学实验室建设的探索与实践

Exploration and practice of microelectronics process teaching laboratory construction

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为适应微电子产业的高速发展,高校的微电子工艺教学实验室的建设和实验教学对专业人才的培养发挥着极其重要的作用.介绍了微电子工艺教学实验室建设的目标和设想,详细阐述了实验室的建设规划、建设内容和内涵建设.微电子工艺教学实验室的建设完善了中山大学电子与信息工程学院微电子专业的实验教学体系,为开设微加工实验课程提供了教学平台,将理论与实践紧密结合,有利于提高学生的实践能力和创新能力.

黄展云、陈晖、谢德英、陈弟虎

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中山大学 电子与信息工程学院,广东 广州 510006

微电子工艺 教学实验室 实验室建设 内涵建设

2017年广东省本科高校质量工程实验教学示范中心项目2018年度中山大学本科教学改革研究项目

201720976120-18832603

2021

10.3969/j.issn.1672-4305.2021.06.032

实验室科学
南开大学　中国高等教育学会

实验室科学

影响因子：0.805
ISSN：1672-4305
年,卷(期)：2021.24(6)
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