精密紫外真空光谱反射率测试系统

Precision UV Vacuum Spectral Reflectivity Test System

姜源 ¹徐庶 ¹汪龙祺²

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作者信息

1. 武警工程大学研究生管理大队,西安,710086
2. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究院,长春,130033
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摘要

为测试小于280 mm口径光学元件在真空中的光谱反射率,构建了反射率测试系统.该系统的反射率由光源、Seya-Namioka真空可见单色仪,样品室为主要结构组成,同时采用双光补偿法消除了时间漂移,提高了相位锁定微弱信号的测量精度.该系统根据调制光信号与参考信号进行相乘的相干检测原理,采用锁相放大器,利用光学积分器,将信号平滑地输入A/D转换器.反射率测试结果表明,波长精度为0.1 nm,波长重复性0.035 nm,可以实现真空下光学元件的高精度测量.

关键词

反射率/真空/锁相/双光补偿法

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出版年

2016

武警工程大学学报

中国人民武装警察部队工程学院

武警工程大学学报

影响因子：0.05

ISSN：2095-3984

参考文献量11

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