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用于微电子封装的高频压电超声换能器模态优化设计

Modal Optimization Design of the High-frequency Piezoelectric Ultrasonic Transducer Used in the Microelectronic Packaging

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研究了高频压电超声换能器的优化设计方法,基于四端网络方法和有限元分析软件ANSYS参数化建模,通过不断调节结构参数的大小对换能器进行优化,使工作频率在满足设计要求的前提下,实现了工作频率与其他非工作频率的分离.通过阻抗分析仪和多普勒激光测振仪对换能器进行测试,实验结果表明,该换能器工作频率为110.161 kHz,工作频率附近不存在非纵振模态和其它寄生的振动形式.

张继昌、黄嘉伟、张宏杰

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天津工业大学机械工程学院,天津300387

微电子封装 高频超声换能器 结构优化设计 模态集中

天津市天津市教委科研计划项目

2017KJ082

2018

装备制造技术
广西机械工程学会

装备制造技术

影响因子：0.252
ISSN：1672-545X
年,卷(期)：2018.(11)
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