高功率固体激光装置中的大口径KDP晶体作为频率转换单元的关键核心组件之一,其作用是将波长为1053 nm的高能红外激光转化为波长为351 nm的紫外激光.为了实现410 mm×410 mm的KDP晶体装配附加面形畸变得到有效控制,该文基于工程上采用的四点支撑工艺结构,建立带有制造误差的四点支撑结构对KDP晶体装配附加面形畸变仿真分析模型,分析研究硅橡胶、聚四氟乙烯、铝合金、铜合金、结构钢等五种典型洁净支撑材料在30μm、50μm制造误差时对KDP晶体的装配面形畸变的影响规律.获得5种支撑材料对KDP晶体装配附加面形畸变分布与PV值的影响规律后,开展同一批次加工的硅橡胶、聚四氟乙烯、铝合金、铜合金、结构钢等支撑材料对KDP晶体的装配附加面形畸变的影响实验,获得KDP晶体装配支撑材料,以低弹性模量的硅橡胶为最佳,能够实现KDP晶体的总面形PV值为6.51μm.
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