分段式的大功率远程等离子体源系统设计
Design of Segmented High Power Remote Plasma Source System
薛家祥 1马财钰 1王一统 1金礼2
作者信息
- 1. 华南理工大学 机械与汽车工程学院,广州 510640
- 2. 贵州民族大学 物理与机电工程学院,贵阳 550000
- 折叠
摘要
目前远程等离子体源系统普遍存在输出功率低、系统负载适应范围窄和生成等离子体浓度不稳定等问题,该文基于对TCP型腔体的放电模式和负载特性分析,提出一种分段式的大功率远程等离子体源系统,改进的功率电路提高了电源输出功率,分离的点火回路简化了电路设计并提高自由度,分段的控制策略极大程度的提高了系统负载适应范围,可电离多种气体和更宽范围气体流量.通过实际样机测试,验证了此系统方案设计的可行性,为等离子体电源设计提供了参考价值.
Abstract
Existing remote plasma source systems generally have problems such as low output power,narrow system load adaptation range and unstable plasma concentration.Based on the analysis of discharge mode and load charac-teristics of TCP cavity,this paper proposes a segmented high-power remote plasma source system.The improved pow-er circuit improves the output power of the power supply.The separated ignition circuit simplifies the circuit design and improves the degree of freedom,and the segmented control strategy greatly improves the system load adaptation range,which can ionize a variety of gases and a wider range of gas flow.The feasibility of the system design is ver-ified by the actual prototype test,which provides a reference value for the design of plasma power supply.
关键词
远程等离子体源/电感耦合/TCP/控制策略Key words
remote plasma source/inductive coupling/TCP/control strategy引用本文复制引用
基金项目
国家自然科学基金资助项目(51875213)
广东省自然科学基金项目(2214050007061)
贵州省省级科技计划项目(ZK[2022]198)
贵州省高等学校教学内容和课程体系改革项目(2021083)
出版年
2024
NETL
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