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大気中での表面改質によるシリコーンとガラスの固体間直接接着法
大気中での表面改質によるシリコーンとガラスの固体間直接接着法
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外文关键词：
シリコーンゴム
シリコーンレジン
酸素プラズマ
大気圧プラズマ
真空紫外光
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作者：
岡田 渉、山本貴富喜
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作者单位：
東京工業大学機械制御システム専攻〒152－8552 東京都目黒区大岡山2－12－1
出版年：
2011
電気学会論文誌, E. センサ·マイクロマシン部門誌
電気学会論文誌, E. センサ·マイクロマシン部門誌
ISSN：
1341-8939
年,卷(期)：
2011.
131
(4)
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