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InAsナノワイヤの電界アシスト自己整合堆積プロセス

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InAsナノワイヤの電界アシスト自己整合堆積プロセス

ナノワイヤ自己整合堆積プロセスInAsInP

船山裕晃、渡邉龍郎、道又賢司、和保孝夫、村上新、下村和彦

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上智大学 理工学部 〒102-8554 東京都千代田区紀尾井町 7 番 1 号

上智大学 理工学部 〒102-8554 東京都千代田区紀尾井町 7番1号

2013

電子情報通信学会技術研究報告

電子情報通信学会技術研究報告

ISSN:0913-5685
年,卷(期):2013.112(445)