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自由電子レーザ照射による周期的微細構造生成

自由電子レーザ照射による周期的微細構造生成

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LIPSS自由電子レーザFEL微細周期的構造レーザ加工

野平真義、星野陽太、岩田展幸

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日本大学理工学研究科

2022

電子情報通信学会技術研究報告

電子情報通信学会技術研究報告

ISSN:0913-5685
年,卷(期):2022.122(53)