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AlGaN/GaNヘテロ構造のTiAl系オーミック電極の基礎的検討
AlGaN/GaNヘテロ構造のTiAl系オーミック電極の基礎的検討
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外文关键词：
AlGaN/GaN
TiAl系電極
オーミック電極
コンタクト抵抗
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作者：
秋良芳樹、岡田浩、吹中茉生
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作者单位：
豊橋技術科学大学 電気·電子情報工学専攻
豊橋技術科学大学 総合教育院
出版年：
2022
電子情報通信学会技術研究報告
電子情報通信学会技術研究報告
ISSN：
0913-5685
年,卷(期)：
2022.
122
(53)
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