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反応性密着単分子膜を特徴とするナノインプリントリソグラフイ

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反応性密着単分子膜を特徴とするナノインプリントリソグラフイ

久保祥一、中川 勝

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東北大学多元物質科学研究所

2013

表面

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ISSN：0367-648X
年,卷(期)：2013.51(8)