半導体プラズマプロセスシミユレーションとTCAD

扫码查看

原文链接

NETL
NSTL

外文标题：半導体プラズマプロセスシミユレーションとTCAD

外文关键词：

plasma processingplasma etching and depositionprocessing plasmaplasma-surface interactionmicrostructural featurefeature profile evolutionnumerical simulationplasma simulationprocess simulationfluid modelparticle modeltechnology computer-aided design

作者：

斧高一、Ono Kouichi

展开 >

作者单位：

京都大学大学院工学研究科

Department of Aeronautics and Astronautics, Graduate School of Engineering, Kyoto University, Kyoto 606-8501, Japan

出版年：

2004

プラズマ·核融合学会志

ISSN：0918-7928

年,卷(期)：2004.80(11)