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電気化学反応を利用した窒化ガリウムのウェットエッチングと機能性材料
電気化学反応を利用した窒化ガリウムのウェットエッチングと機能性材料
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外文关键词:
窒化ガリウム
電気化学エッチング
多孔質構造
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作者:
佐藤威友、渡久地政周
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作者单位:
北海道大学量子集積エレクトロニクス研究センター
出版年:
2022
電子情報通信学会技術研究報告
電子情報通信学会技術研究報告
ISSN:
0913-5685
年,卷(期):
2022.
122
(53)