首页|MEMSにょるシリコンを用いた光デバィス:赤外線センサや可変フィル夕の展開

MEMSにょるシリコンを用いた光デバィス:赤外線センサや可変フィル夕の展開

MEMSにょるシリコンを用いた光デバィス:赤外線センサや可変フィル夕の展開

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菅哲朗、安永竣、大下雅昭

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電気通信大学大学院情報理工学研究科機械知能システム学専攻准教授博士(情報理工学)

東京大学大学院情報理工学系研究科博士後期課程

電気通信大学情報理工学研究科博士後期課程

2020

ケミカル·エンジニヤリング

ケミカル·エンジニヤリング

ISSN:0387-1037
年,卷(期):2020.65(12)