期刊,电子工业专用设备 2024年卷4期_国家学术搜索

期刊信息/Journal information

电子工业专用设备

主　　编：赵璋

出版周期：月刊

国际刊号：1004-4507

电子邮箱：faith＿epe@sohu.net

电　　话：010-64655251;64674511

邮政编码：100029

地　　址：北京市朝阳区安贞里二区1号楼金瓯大厦418室

电子工业专用设备/Journal Equipment for Electronic Products Manufacturing

查看更多>>本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。

正式出版

收录年代

自动测试技术在MEMS硅腔滤波器工艺中的应用

王晓倩杨志

54-57页

查看更多>>摘要：在微波通信系统中,滤波器作为通信系统中不可缺少的微波无源器件,其性能指标直接影响整个通信系统的性能.与传统滤波器相比,微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)滤波器具有集成度高、小型化等优点,其中腔体结构在RF MEMS滤波器中有着广泛的应用.感应耦合等离子刻蚀是实现三维腔体结构的关键技术,其刻蚀均匀性直接影响腔体滤波器的性能指标.过程控制监控(Process Control Monitoring,PCM)是MEMS工艺控制中的重要监控手段,利用自动测试系统,论述了用于自动测试的PCM图形,通过数据处理得到硅腔深度分布图,并拟合出硅腔深度和中心频率对应关系,反应了当前刻蚀的工艺能力,为后续产品设计、提高刻蚀均匀性及优化版图设计提供了数据支撑.

关键词：

滤波器腔体深度自动测试过程控制监控中心频率

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基于差分进化的FSK信号频率检测仿真

曾石磊刘晓慧修万顺

58-62页

查看更多>>摘要：针对通信信号检测中FSK信号频率的快速检测问题,提出一种基于多次差分进化搜索FSK信号的快速频率检测方法.该方法将信号的幅度谱作为差分进化的初始目标函数,通过多次差分进化搜索目标函数的最大值,并更新目标函数,获得最优极值坐标向量;针对最优极值坐标向量所对应的目标函数值向量,提出定义其差分比值,来确定有效的峰状谱线位置,最终完成FSK信号的频率检测.仿真实验验证了其有效性和可行性.

关键词：

差分进化通信检测频移键控信号

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装备制造企业智能仓储系统解决方案

谢瑜

63-66页

查看更多>>摘要：主要研究如何在装备制造企业实现智能化仓储管理.首先对国内装备制造企业仓储现场管理及系统应用现状进行分析,提出包含关键业务流程设计和系统集成在内的智能仓储解决方案,为装备制造行业智能仓储系统建设提供参考.

关键词：

智能仓储系统供应链功能边界

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制绒上料插片机稳定性提升方法研究

朱江江

67-70页

查看更多>>摘要：通过梳理制绒上料插片机的基本流程以及硅片传输各组件的匹配关系,并对现场常见的3种设备故障进行分析,找出了影响设备稳定的关键因素,最后提出相应的解决方法,可以降低调试难度,加快设备交付速度,提高设备运行稳定性.

关键词：

制绒上料机故障分析稳定性解决方法

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针对键合晶圆的视觉与机械夹持预对准方法设计

李康平刘冰鑫周占福

71-73页

查看更多>>摘要：在曝光设备中,预对准先将晶圆进行中心定位和角度找正,经过预对准的晶圆传送到工作台中方向及位置一致,保证设备稳定运行.为能满足键合晶圆的预对准要求,采用视觉与机械夹持的方式,设计预对准结构,获得键合晶圆的兼容性,保证设备对键合晶圆的稳定运行.

关键词：

晶圆寻边视觉寻边图像处理技术

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基于Flexsim的AGV数量配置仿真分析

宋建军刘峰董建晓

74-78页

查看更多>>摘要：运用Flexsim仿真技术解决企业在确定AGV设备投入数量时面临的难题,利用系统仿真软件Flexsim构建仿真模型,通过仿真模拟的方法对AGV配置数量进行逐步优化.从而协助企业选择最佳的AGV数量配置,避免企业因盲目决策而投入更多的AGV导致资金浪费或系统能力不足.

关键词：

自动导引车建模仿真可行性分析数量配置

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《电子工业专用设备》征订征稿启事

封3页

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