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期刊信息/Journal information
舰船电子工程
中国船舶重工集团公司第709研究所 中国造船工程学会 电子技术学术委员会
舰船电子工程

中国船舶重工集团公司第709研究所 中国造船工程学会 电子技术学术委员会

王小非

月刊

1627-9730

jcdzgc@periodicals.net.cn,jcgc@chinajournal.net.cn

027-87534308027-87534205

430074

武汉市74223信箱《舰船电子工程》编辑部

舰船电子工程/Journal Ship Electronic EngineeringCSTPCD
查看更多>>本刊所载内容涵盖舰船电子领域各专业学科，读者对象为工程技术人员、管理人员、部队官兵和院校师生。 改版后的《舰船电子工程》将继续秉承"拓展专业、外延船电、突出应用、贴近读者"的办刊方针，办好专栏，办活版面，增强技术性、实用性、可读性，多功能全方位地为广大读者服务。
正式出版
收录年代

    压阻式压力传感器硅电阻条浅槽刻蚀的研究

    王天靖梁庭雷程王婧...
    199-202页
    查看更多>>摘要：MEMS压阻式压力传感器的电阻条刻蚀效果对传感器的性能及高温环境下工作寿命起着至关重要的作用。采用SPTS深硅刻蚀机以SF6为刻蚀气体，C4F8为保护气体进行刻蚀实验。通过改变刻蚀气体通入时长、保护气体通入时长以及射频功率进行参数匹配，根据台阶仪和SEM电镜的观察数据对刻蚀效果进行评估，最终确定了刻蚀气体流量25 sccm，刻蚀气体通入的时长为2。5 s;保护气体流量50 sccm，保护气体的通入时长为2。5 s，射频功率为2 500W的刻蚀条件。该条件下刻蚀速率为1。54 μm/loop。刻蚀均匀性为2。9%。

    压力传感器电阻条深硅刻蚀刻蚀刻蚀速率均匀性

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    基于特征和公差重构的结构化多态模型集成方法研究

    姚骏杨金军王炜许娜...
    203-207页
    查看更多>>摘要：针对当前航天器结构产品设计制造一体化需求，在新一代GPS标准体系框架下，研究并提出了基于特征和公差重构的结构化多态模型集成方法，对现有三维数字化设计模型信息解构和重构，对现有三维数字化设计模型信息解构和重构，形成符合新一代GPS标准体系的多态设计模型和充分表征设计信息的结构化数据集，突破数字化检定认证手段难以与设计信息关联复用的困难，为航天器结构产品设计制造一体化推广应用提供有益借鉴。

    新一代GPS公差结构化数据多态模型集成

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    卍字型无线高温高压传感器的设计与研究

    翟荣锭吴倩楠
    208-212页
    查看更多>>摘要：论文介绍了一种利用硅碳氮(SiCN)材料制成的无线高温高压传感器。可以解决目前温度压力传感器所存在的量程狭窄、体积大、敏感度不足的问题。传感器由金属、硅碳氮基板和金属三层结构组成。结果显示，设计好的高温传感器可用于测量27℃～1 000℃范围内的温度，温度灵敏度约为0。77 GHz/℃，并可检测10 MPa～100 MPa的压力，压力灵敏度0。159 GHz/MPa。该传感器探测范围广泛，在航空发动机、工业生产、通信等领域提供技术支持。

    材料硅碳氮温度传感压力传感太赫兹

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