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期刊信息/Journal information
真空
真空

陆国柱

双月刊

1002-0322

zkzk@chinajournal.net.cn

024-24110136

110042

辽宁省沈阳市万柳塘路2号

真空/Journal Vacuum北大核心CSTPCD
查看更多>>本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
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    干式真空泵在半导体及新能源领域的应用及发展趋势

    张丕显张以忱战春鸣晋伟达...
    1-8页
    查看更多>>摘要：干式真空泵作为一种机械真空泵,具有抽速范围宽、抽气腔内无油、元件无摩擦、能耗低、耐腐蚀等优点.因其泵腔内无油或其他工作介质,可以提供相对洁净的真空环境,目前已经成为微电子、半导体、精密加工、新能源装备等行业首选的真空获得设备.本文简述了干式真空泵在半导体制备及新能源装备制造行业中的应用场景,举例说明了部分干式真空泵的产品特性,总结了国内干式真空泵行业发展空间及面临的挑战.

    干式真空泵半导体制备LCD光伏发电锂电池制造

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    基于MATLAB/GUI的真空泵抽速曲线预测计算

    赵前玉于振华李恒霖干蜀毅...
    9-12页
    查看更多>>摘要：从工程实际应用的角度出发,以螺杆真空泵转子的几何特性和螺杆真空泵内部的泄漏模型为基础,建立螺杆真空泵内部工作过程的数学模型,借助 MATLAB 软件,采用四阶龙格-库塔(Runge-Kutta)法将每次微分方程求解结果作为初始条件反复迭代求解,依据MATLAB/GUI界面设计了一款可以快速计算螺杆真空泵抽速曲线的应用程序.使用该程序对多种螺杆真空泵进行了抽速曲线的预测计算,并根据算例结果对程序进行了完善.

    MATLAB/GUI四阶龙格-库塔法螺杆真空泵抽速曲线

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    表面特性对棘齿型Knudsen泵气体分离特性影响的模拟研究

    韩峰张志军张世伟王晓伟...
    13-19页
    查看更多>>摘要：Knudsen泵作为一种微型泵,在微机电系统(MEMS)中具有广泛应用.本文提出了一种具有不同表面反射系数的棘齿型Knudsen泵,通过直接模拟蒙特卡罗(DSMC)方法对该泵内He-Xe混合气体流动特性进行了数值模拟研究.结果表明:表面反射特性对Knudsen泵内的流场特性和气体分离特性影响巨大,不同的表面反射特性导致了Knudsen泵内不同的热驱流动机理;三角形倾斜边的αn=σt=0 时Knudsen泵内主要热驱流动为辐射流,有利于气体分离,而αn=σt=1 时Knudsen泵内主要热驱流动为热边缘流,对气体分离没有明显有利作用;三角形倾斜边的αn=σt=0 时He和Xe的速度和扩散速度在三角形棘齿上顶点附近差异最大,而αn=σt=1时在三角形棘齿左侧顶点附近差异最大;越轻的气体流动速度和扩散速度越快.本文可为实际工程应用中微型气体分离装置的设计和生产提供理论依据.

    Knudsen泵气体分离表面特性热驱流动棘齿型微通道DSMC方法微机电系统(MEMS)

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    基于流导法的G-M制冷机低温泵抽速测试与分析

    余彦飞李晓刚胡湘娥陈进文...
    20-25页
    查看更多>>摘要：抽气速率是衡量低温泵产品抽真空性能优劣的重要指标之一.除国内企业常用的流量法外,流导法亦是测量低温泵抽速的重要方法.本文依据现行标准中所规定的基于流导法原理测试真空泵气体抽速的方法,对ZD-200口径G-M制冷机低温泵对不同气体抽速测试进行了详细介绍.结果表明:流导法测得低温泵对N2 和Ar的抽速分别为 2 410 L/s、1 884 L/s,明显优于国内外同类产品指标;低温泵对H2 抽速为 2 577 L/s,与国内外产品公开技术指标处于相同水平.依照流导法获得的测试结果具有较高的准确度和可信度.

    G-M制冷机低温泵流导法抽速测试性能分析

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    基于ANSYS的储氢气瓶快充温升流热固耦合模拟研究

    杨刚欧晨希陈新辉黄思...
    26-32页
    查看更多>>摘要：以某款车用碳纤维全缠绕储氢气瓶为研究对象,基于ANSYS Workbench平台,充分考虑气瓶不同结构层的差异性和温度载荷分布不均匀性,进行了流热固耦合模拟计算分析.首先对气瓶快速充装过程内部气体流场进行三维数值模拟研究其温升规律,然后将流场计算结果加载到气瓶结构层进行稳态热分析,最后将流场及热分析结果均加载到气瓶结构层进行结构静力学分析.结果表明:当充装结束时,气瓶最高温度及碳纤维复合层受到的最大应力均出现在瓶尾封头和筒体的连接处;相较于内压引起的机械应力,温度载荷引起的热应力很小;机械应力与耦合应力数值相差不大,碳纤维复合层的机械应力略小于耦合应力,而铝合金内胆层由于膨胀系数大,温度载荷引起的压缩热应力抵消了一部分机械应力,使得耦合应力小于机械应力.

    碳纤维全缠绕储氢气瓶快充温升流热固耦合

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    热氧老化效应对橡胶密封接触性能的影响

    郭崇武史纪军孙立臣齐飞飞...
    33-39页
    查看更多>>摘要：橡胶密封结构的寿命对空间站在轨长期运行至关重要.本文以三元乙丙橡胶(EPDM)密封为研究对象,首先测试热氧老化试验后橡胶应力-应变本构关系及橡胶的压缩永久变形,然后基于时温等效理论建立热氧老化影响下的密封性能理论模型,实现长服役期内橡胶密封性能的分析.运用此模型研究了老化性能变化指标对EPDM与钛合金(TC4)、EPDM与聚酰亚胺(PI)两种接触副间宏观接触性能的影响规律.结果表明:热氧老化性能变化指标减小时,两种橡胶密封宏观接触压力和接触宽度均随之减小;相同老化性能指标下,橡胶密封EPDM与PI接触副间的接触宽度以及接触压力均大于EPDM和TC4接触副间的接触压力和接触宽度.

    空间站橡胶密封热氧老化接触压力接触宽度

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    基于Fluent的多级串联喷嘴液气射流泵的抽气性能研究

    宋昕郭建章
    40-45页
    查看更多>>摘要：为提高液气射流泵的抽气性能,在其主喷嘴后设置了多级串联喷嘴,通过Fluent软件对常规液气射流泵和多级串联喷嘴液气射流泵内气液两相流体运动情况进行了数值模拟,对比分析了相同工况下两种类型液气射流泵的抽气性能、压力场分布、速度场分布和气相体积分数分布.结果表明:在工作流体进口压力(表压)为 0.3 MPa、0.35 MPa和 0.4 MPa下,多级串联喷嘴液气射流泵的抽气性能较常规液气射流泵分别提高了 18.1%、13.4%和 20%,多级串联喷嘴结构有利于气液两相流体的混合和动量交换.研究结果对液气射流泵的优化设计和抽气性能提高具有一定的参考意义.

    液气射流泵多级串联喷嘴抽气性能数值模拟

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    真空泵滑阀加工专用刨床设计

    张辉徐君金建华王鹏超...
    46-50页
    查看更多>>摘要：针对真空泵滑阀现有加工技术存在的插床加工效率低、质量稳定性差,多轴数控龙门刨床加工设备投入大等问题,设计了一种滑阀加工专用刨床.基于普通牛头刨床进行胀紧定位、滑阀旋转、刨刀进给等机械结构设计和控制系统智能化改造,采用PLC控制,以触摸屏作为人机交互界面,实现滑阀全自动加工.通过生产验证,专用刨床能达到多轴数控龙门刨床的加工效能,相对于传统插床加工,生产效率和产品合格率都得到大幅提升.

    滑阀加工PLC控制人机交互加工效能

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    差压法测定NEG吸氢性能

    王婧华王蓝陵林文豫吴俊...
    51-56页
    查看更多>>摘要：通过对定压法进行改进提出了差压法,用于测试非蒸散型吸气剂(NEG)的吸氢性能.该方法在进气室和吸气室之间安装固定流导元件,利用调节微调阀提供可控的进气流量,通过测量吸气室、进气室和参考室的压力计算NEG的吸气性能参数.利用两种NEG比较了差压法和改进的定压法所测吸气性能.结果表明:差压法测得的吸气容量比改进的定压法测得的吸气容量低 0.07268 Pa·L;腔室壁面吸附能力使改进定压法的试验结果高于理论结果,而差压法的试验结果不受影响;对改进的定压法进行优化后,其计算结果与差压法的接近.差压法可以获得更准确、更有效的吸气剂性能参数,在差压法中,参考部分和试验部分同时进行测试,可缩短测试时间,减少控制进气带来的误差.

    差压法吸氢性能非蒸散型吸气剂(NEG)改进的定压法

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    沉积参数对TiO2纳米薄膜的显微结构和光学性能的影响

    纪建超颜悦哈恩华
    57-62页
    查看更多>>摘要：采用直流脉冲磁控溅射的方法,在有机玻璃上沉积了纳米TiO2 光学薄膜.研究了沉积功率、基片温度等参数对TiO2 薄膜结构及光学性能的影响.借助椭圆偏振光测试仪、X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)、分光光度计、原子力显微镜(AFM)等表征手段分析了薄膜的光学特性、元素组成、结晶性能及显微结构.结果表明:随沉积功率的增加,薄膜氧含量降低,粒径减小,折射率递增,可见光波段的透过率和反射率递减;随基片温度上升,薄膜的沉积速率降低,这促进了薄膜粒子的聚集,在光学方面表现为随温度上升,折射率及可见光透过率同时增加;TiO2 薄膜的禁带宽度在 3.12～3.16eV之间,随沉积功率增加和基片温度上升,其禁带宽度递减.

    TiO2薄膜磁控溅射显微结构光学性能

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