首页期刊导航|低温与特气
期刊信息/Journal information
低温与特气
低温与特气

曾敏

双月刊

1007-7804

dwytq@qq.com

0411-85961022

116031

大连市甘井子区甘北路34号

低温与特气/Journal Low Temperature and Specialty Gases
查看更多>>　　本刊主要报道低温与制冷技术，以及特种气体技术，同时承接广告业务。设有综述评论、工艺与设备、特气设备、应用技术、分析与测度、低温材料、安全技术、低温容器、经验交流、消息报道、文献消息等栏目，以技术性、实用性内容为主，面向实际，并有部分理论探讨内容。　　本刊是国内唯一同时介绍低温工程技术与特种气体技术的专业性期刊，具有很大的使用及参考价值。竭诚为航天、电子、光纤、化工、机械、石油、环保、医疗、食品及军工等领域的科研、设计、生产、使用、教学及管理等部门服务。
正式出版
收录年代

    电子级氯化氢纯化研究进展

    王刚任少科李子宽祝全仁...
    1-5页
    查看更多>>摘要：电子级氯化氢广泛用于半导体行业中的单晶硅气相抛光和外延基座腐蚀工序.随着芯片制程的不断减小,对氯化氢纯度的要求越来越高,给电子级氯化氢的纯化工艺提出了新的挑战.综述了现阶段电子级氯化氢的纯化技术:包括冷凝、吸收、精馏、吸附、化学转化、膜分离和精密过滤,联用多种纯化技术是制备电子级氯化氢产品的首要选择.

    电子气体氯化氢纯化

      原文链接:
    • 万方数据
    • 维普

    智能双气瓶柜

    5页
      原文链接:
    • 万方数据

    八氟丙烷的制备与纯化技术研究进展

    李笑艳何红振张金彪袁胜芳...
    6-10页
    查看更多>>摘要：八氟丙烷具有良好的热稳定性和化学稳定性,主要用作半导体器件制作过程中的等离子体刻蚀气和清洗气.对八氟丙烷的制备和纯化工艺进行了总结分析,八氟丙烷的制备方法有直接氟化、电解氟化、氟氯烷烃的氟化、六氟丙烯的氟化加成等,纯化方法有精馏法、吸附法、精馏+吸附法、杂质转化法和膜分离法等,对于高纯度电子级八氟丙烷的制备和纯化工艺开发有一定的指导意义.

    八氟丙烷制备纯化

      原文链接:
    • 万方数据
    • 维普

    一种回收超纯氨尾气的自动装置

    10页
      原文链接:
    • 万方数据

    一种高压气体减压阀

    10页
      原文链接:
    • 万方数据

    一种溴化氢合成炉的炉头装置

    10页
      原文链接:
    • 万方数据

    高纯气体最低检测限的研究

    唐峰党晓婧郑择郁光...
    11-15页
    查看更多>>摘要：采用多组分配气系统稀释高纯气体中的永久气体组分,得到不同浓度的标准气体,采用脉冲氦离子化气相色谱仪(GC-PDD)进行检测,实验结果表明,PDD具有高灵敏度和良好的线性度,可以实现超低浓度样品的检测,进一步验证了 PDD的实际最低检测限可达到ng/g(10-9)水平.

    多组分配气系统脉冲放电氦离子化检测器检测限灵敏度

      原文链接:
    • 万方数据
    • 维普

    基于焦炉煤气制氢的装置、高纯氢制备装置

    15页
      原文链接:
    • 万方数据

    工业型高纯氦气纯化器研制

    马香莲荣成旭王传喜黄卫...
    16-19页
    查看更多>>摘要：研制了用于工业领域的高纯氦气纯化器,通过低温吸附的气体分离方式提纯氦气,将进气压力2～22 MPa、流量≤300 Nm3/h、纯度＞30％的氦气一次性提纯为99.999％的高纯氦气.研发设计主要从工业纯化器的流程模拟设计、工艺设计、仪控设计等方面实现工业系统的连续运行.工业型纯化器中的吸附器在运行中采用低温纯化、回温活化等交替型工作方式,需经过变温的交变工况,故在容器设计中增加了疲劳分析设计,从理论分析上保障容器安全性.工业型高纯氦气纯化器的设计采用两组及以上、单组多塔切换、全自动控制设计,完善的报警联锁功能,保障设备安全连续运行,实现无人值守.

    气体分离纯化高纯氦疲劳分析全自动运行安全

      原文链接:
    • 万方数据
    • 维普

    气体检测仪

    19页
      原文链接:
    • 万方数据