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期刊信息/Journal information
压电与声光
压电与声光

胡少勤

双月刊

1004-2474

ydsgsipat@yahoo.com.cn

023-62919570；62919643

400060

重庆市南岸区南坪花园路14号

压电与声光/Journal Piezoelectrics & AcoustoopticsCSCD北大核心CSTPCD
查看更多>>本刊是由信息产业部电子第26研究所主办并公开发行的专业性科技刊物。全国中文核心期刊，中国科学引文数据库统计源，美国Ei数据库收录源。主要报道声表面波技术，声光与光纤技术，压电及其他功能器件，单晶、薄膜及其他功能材料，实验技术与测试方法，以及压电与声光技术等领域的科研成果、发明创造、科技述评，国外在压电、铁电、声电、声光、电光等方面的各种功能器件和陶瓷、单晶、薄膜材料等新技术、新产品、新动向等。
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    金锡键合在薄膜体声波滤波器晶圆级封装中的研究

    金中张基钦吕峻豪阮文彪...
    339-342页
    查看更多>>摘要：薄膜体声波滤波器(FBAR)作为一种无源、体积小和耐功率高的器件,被广泛应用于射频信号处理中.晶圆级气密封装作为小型化封装的代表,在各种高可靠性应用场景中占据重要地位.金-金键合和金-锡键合被广泛应用于薄膜体声波滤波器的气密性晶圆级封装中,但金-锡键合在工艺上更易实现.该文针对金-锡键合在气密性晶圆级封装中的应用进行了研究,在保证键合强度的情况下制作了3 GHz滤波器样品,其性能测试一致性良好,可靠性达到要求.

    薄膜体声波滤波器晶圆级封装金锡键合

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    一种6信道声光调制器

    杨涛周建国艾毅智刘保见...
    343-346页
    查看更多>>摘要：介绍了一种6信道声光调制器.通过在换能器上制备电极阵列,设计独立的阻抗匹配电路和电输入端口,将6个声光互作用单元集成在一起,实现了对6束激光的并行、独立调制.经测试,该6信道声光调制器工作波长为355 nm,工作频率为220 MHz,单信道衍射效率>75%,全局串扰<0.5%.

    声光调制器多信道全局串扰

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    加热电流对恒温晶振温度稳定性的影响

    李鹏陈萍萍卢啸
    347-350,361页
    查看更多>>摘要：通信技术的发展对恒温晶振的小型化需求越来越高.在设计一款小尺寸的恒温晶振时发现,环境温度从-40℃到85℃时,频率曲线一致向上,难以满足±3×10-9 频率温度稳定度要求.经分析表明,晶振的加热电流随环境温度而变化,在通过低电导率的接地引线时引起晶振PCB内的地电压波动,进而导致变容管的偏置电压发生变化.采用双地法和补偿法解决了加热电流引起的地电压波动对恒温晶振温度稳定性的影响.

    恒温晶振加热电流频率温度稳定度变容管双地法补偿法

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    四方相锆钛酸铅陶瓷制备及温度稳定性研究

    杨洋侯育冬杜红亮张阿梅...
    351-355页
    查看更多>>摘要：采用传统固相法制备了Pb(Zr1-xTix)O3 陶瓷,通过调节锆钛摩尔比将其定位于四方区域以改善温度稳定性,并通过优化烧结温度改善电学性能.实验结果表明,当x=0.52时,体系处于四方区域,此时陶瓷的温度稳定性有所提升,在室温～300℃时,d33 变化率为±14.7%.在1 250℃下烧结的Pb(Zr0.48Ti0.52)O3 陶瓷具有最佳的电学性能:压电常数d33=183 pC/N,居里温度TC=402℃,相对介电常数εr=1 209.

    压电陶瓷锆钛酸铅四方相温度稳定性烧结温度

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    冲击激励式压电俘能器的接口电路设计

    肖泽坤董维杰
    356-361页
    查看更多>>摘要：设计了一种自供能同步非对称电压翻转及电荷提取电路(SP-SAFCE),其在压电俘能器电压正峰值完全翻转,在负峰值将能量完全提取,结合了并联同步开关电感电路和同步电荷提取电路的特点.相比于传统的压电接口电路,SP-SAFCE具有自供能的峰值检测模块和开关、无整流桥、无需阻抗匹配等优势.在拨动频率和磁铁间距离变化条件下进行对比实验,实验表明,在相同冲击激励下,SP-SAFCE电路的工作电压比同步电荷提取电路低0.8 V,输出功率约为同步电荷提取电路的1.15倍,适合作为冲击激励式压电俘能器的接口电路.

    压电能量收集接口电路冲击激励无整流桥自供能无需阻抗匹配

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    基于多模态扩频理论的压电振动能量采集系统

    李治宏张佳佳张金雨王佳...
    362-366页
    查看更多>>摘要：以同时提升多模态采集和增加带宽为研究方向,结合多模态扩频理论,建立了一套多模态宽频且能多方向工作的压电振动能量采集系统.该系统包含能量采集器和电源管理电路两个模块.其中,采集器包括4种谐振频率,组成了较宽的工作频带,保证了该采集器在低频振动工作环境下高效率地收集振动能量;电源管理电路将采集到的交流电转换为稳定的直流电,再对电容或电池等储能元件充电以供微电子器件使用.经过模态和谐响应分析后,搭建了实验平台并对采集系统进行实验测试.实验结果表明,在加速度6 m/s2 简谐力激励下,工作频带为16.1～27.8 Hz,输出电压最高可达35.75 V,阻抗匹配后最优阻值为200 kΩ,此时输出功率为115.85 μW.

    多模态多方向宽频带压电振动能量采集

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    一种"回"字形多方向压电能量收集方法

    荣本阳李宗伦朱虎霸何卓威...
    367-375页
    查看更多>>摘要：该文介绍了一种"回"字形的多方向微型压电振动能量收集装置,其由尺寸为34 mm×2 mm×1 mm的正方形边框包围,内部结构包含4个非对称的组合悬臂梁,主悬臂梁固定于边框内壁,并与z方向垂直,次悬臂梁连接在主悬臂梁的末端质量块上.首先建立基础激励条件下组合悬臂梁振动系统的动力学模型.然后,通过有限元仿真分析对比了不同刚度和质量对位移幅值的影响,验证了组合悬臂梁系统的振动特性,并确定了最佳结构参数值:当主、次悬臂梁厚度均为0.3 mm,主、次质量块的最佳惯性质量分别为619.32 g、342.3 g.经仿真计算得到z方向可输出电能功率为3.138 5 mW,x、y方向可输出功率均为0.720 5 mW.最后搭建微型能量收集器实验平台,在实际测试中z方向的输出功率为2.85 mW,x、y方向的输出功率均为0.57 mW.

    多方向压电能量收集器振动能量悬臂梁有限元仿真

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    基于位移放大的压电致动器设计与仿真

    王登攀向路王露王浩...
    376-380页
    查看更多>>摘要：压电叠堆致动器广泛用于驱动智能变形装置,由于压电叠堆输出位移小,需要放大结构增大位移输出.设计了一种椭圆形位移放大结构,分析了椭圆长轴、壳体厚度、X方向位移和压电叠堆宽度等结构参数对Y方向的位移输出、应力强度和放大倍数等性能的影响规律,优化了结构参数,并制作了样品.测试数据表明,位移放大结构实现了5.3倍以上的位移放大;分析了放大结构在高频电压驱动下的瞬态响应,模拟了驱动信号频率对位移输出的影响,结果表明,在周期0.01 s的交变电压驱动下,结构的位移输出未出现失真.

    压电致动器位移放大结构高频驱动

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    用于非接触超声洁牙的压电换能器设计

    任滢秦智袁宝李成皓...
    381-385,391页
    查看更多>>摘要：设计了一种非接触式的超声洁牙装置.通过12个超声变幅单元并联组合成牙套式阵列结构,突破了口腔有限空间内对换能器声发射能力的限制.采用声-结构耦合有限元模拟和回归分析,在300～400 kHz工作频段优选PZT-5H为压电相,优化了透声层内空心圆锥形变幅杆设计.其辐射到牙列表面的平均声功率为2.32 W,正、负相最小声压幅值分别为794.668 kPa、-800.854 kPa.声场分布分析表明,在300～400 kHz频段内扫频激励产生的混响声场可以覆盖整个牙列,实现全方位的超空化非接触式洁牙.

    非接触式超声清洗有限元模拟牙套式超声洁牙装置弯曲振动压电换能器

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    MEMS高温压力传感器耐高温引线结构优化

    刘润鹏雷程梁庭杜康乐...
    386-391页
    查看更多>>摘要：绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器可在高温(高于125℃)下工作.通常情况下构成惠斯通电桥的电阻单独处于压力敏感区,以提高其灵敏度,但在其工作期间压力传感器器件区电阻重掺区与金属引线连接处存在一定高度差,在加压加电高温环境下此处热应力变大,金属引线因过热而出现金属引线断裂或失效,无法满足高温需求.在此基础上研究了一种硅引线技术,使其与压敏电阻处于同一高度层,金属引线平铺在硅引线上端,经退火后形成良好的欧姆接触.实验测试表明,该方案能使压力传感器在300℃高温环境下正常工作,金属引线与电阻区连接完好,传感器敏感区应力降低接近50%,且优化后传感器灵敏度符合设计要求.

    绝缘体上硅(SOI)高温压力传感器器件区电阻高度差硅引线

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