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期刊信息/Journal information
真空
真空

陆国柱

双月刊

1002-0322

zkzk@chinajournal.net.cn

024-24110136

110042

辽宁省沈阳市万柳塘路2号

真空/Journal Vacuum北大核心CSTPCD
查看更多>>本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
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    面向干式电抗器的氟碳纳米结构薄膜性能调控方法研究

    赵琦满玉岩李苏雅李松原...
    51-55页
    查看更多>>摘要：氟碳薄膜具有低介电常数和摩擦系数、高热稳定性和化学惰性、强紫外吸收等优点,作为表面修饰材料,有望提升干式电抗器运行时的环境耐候性和绝缘稳定性.以磁控溅射技术制备氟碳薄膜具有杂质粒子污染少、沉积面积大、反应物成本低、无环境污染等优点.溅射过程中等离子体状态是影响薄膜质量的关键因素,本文讨论了真空室温度和基底温度协同作用对氟碳薄膜化学组分、微结构、沉积速率和微观形貌的影响.结果表明:温度直接作用于溅射组分的产生、输运和沉积过程;温度升高使薄膜表面呈现颗粒-团簇-三维网状结构的形貌演化规律;随溅射温度增加,沉积速率、粗糙度、氟碳比和sp3杂化碳占比增大,薄膜朝类聚四氟乙烯(PTFE-like)的方向发展,有望获得更优异的理化特性.

    氟碳薄膜磁控溅射微纳结构理化特性

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    真空度测量仪动态校准系统

    卢少波张吉峰韩永超杨坤...
    56-59页
    查看更多>>摘要：真空度测试仪可在不拆卸真空开关管的前提下,利用离子流与气体压强的比例关系来测量开关管内部的真空度.真空度测试仪在使用前,需要针对不同管型进行标定校准,本文讨论了其动态校准系统的设计和校准方法,包括磁钢工装的设计、强磁场的防护,以及特殊升降机构的设计等.校准系统由校准室、超高真空系统、磁场线圈、加热装置、升降系统和真空度测试仪等组成.该校准系统利用动态对比法,在抽气和充气动态平衡时,获得标准真空规的真空度和被测真空开关管的离子流,形成校准对比曲线,实现了快速、高精度和宽量程的校准测试.

    真空开关管真空度真空度测试仪动态校准

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    金属钼、铪栅极材料电子发射问题研究

    方有维刘林俞世吉李玉涛...
    60-64页
    查看更多>>摘要：利用离子束辅助沉积技术在Ba-W阴极表面上分别沉积金属钼膜和铪膜,以模拟栅控行波管中钼栅极和铪栅极表面吸附阴极蒸发物质时的表面状态.研究了这两种栅极表面微观结构和成分的变化,并测试了其表面热电子发射能力和二次电子发射系数.实验结果表明,铪栅极表面吸附的阴极发射物质要远少于钼栅极,用金属铪作栅极材料能有效抑制栅极电子发射.

    Ba-W阴极栅发射热电子发射二次电子发射系数

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    J-TEXT装置泰勒放电清洗实验研究

    巴为刚陈志鹏赵乾丞郝志刚...
    65-72页
    查看更多>>摘要：托卡马克真空室中存在着杂质所产生的线辐射,这会引起等离子体能量损失和氢气燃料浓度降低.因此,为了提高聚变三重积,需要在放电开始前将托卡马克真空室内的轻杂质含量降至较低水平.轻杂质元素主要吸附在装置第一壁上,现阶段主要使用放电清洗手段解吸第一壁上吸附的杂质.本文建立了一套差分抽气质谱分析系统,可在J-TEXT托卡马克装置进行泰勒放电清洗时工作.其可以将主真空室内较高压力的气体引入到配有差分抽气系统的质谱室中进行分析,从而得到清洗过程中各气体分压强的变化,用于监测放电清洗效果.同时,结合磁测量、静电探针、Hα辐射以及CⅢ辐射等诊断系统,测量了清洗过程中等离子体电流、电压、温度、密度和辐射等参数随不同放电清洗参数的变化,为J-TEXT氢气泰勒放电清洗参数优化提供参考.

    泰勒放电清洗差分抽气质谱分析参数优化

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    ALD悬浮熔铸新进展——FastCast

    沈阳真空杂志社
    72页
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    物理气相沉积热障涂层批量生产用球坑仪快速测厚法研究

    邓仲华常振东徐雷胡江玮...
    73-77页
    查看更多>>摘要：为了满足热障涂层批量生产时对厚度快速、准确检测的需要,本文选用球坑测厚法对物理气相沉积热障涂层厚度进行了测量研究.首先在GH3039高温合金基体上分别制备厚约120μm的NiCrAlYSi涂层和ZrO2·Y2O3(YSZ)涂层,研究了研磨液粒径、研磨时间等参数与磨坑直径的关系,随后根据试验结果对高温合金试片涂覆的NiCrAlYSi/YSZ热障涂层使用球坑测厚法进行了厚度测量,并与金相测厚法结果进行了对比.结果表明:NiCrAlYSi涂层和YSZ涂层磨坑直径与研磨时间均满足抛物线增加关系;相同条件下,所用研磨液粒径为5μm和10μm时获得的磨坑直径相当,均比1μm时的大;针对同一涂层,球坑测厚法与金相测厚法测量结果吻合度高,误差在6％以内.

    热障涂层物理气相沉积涂层厚度球坑仪

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    高能束熔覆涂层质量缺陷形成机理及控制方法研究现状

    翟艳坤白雪卫张凤宇徐铭泽...
    78-86页
    查看更多>>摘要：高能束熔覆涂层在制备时易出现裂纹、气孔等质量缺陷,严重阻碍了高能束熔覆技术的工业化应用.本文分析了高能束熔覆涂层裂纹缺陷的形成原因,从制备功能梯度涂层、采用辅助熔覆技术和预处理措施三个方面,总结了目前主流的熔池温度梯度和应力控制方法以及研究进展.提出了当前高能束熔覆涂层质量控制面临的主要问题,并对高能束熔覆涂层质量控制的发展前景进行了分析.

    高能束熔覆熔覆层裂纹温度梯度热应力

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    真空雾化制粉技术研究进展及展望

    冯骏骁左野王勇张增海...
    87-92页
    查看更多>>摘要：真空雾化制粉设备作为工业化生产金属粉末的主要设备,广泛应用于增材制造、粉末冶金、航天和医疗等重点领域.本文围绕目前最常见的几种真空雾化制粉技术,对其特点和发展方向进行了深入的研究和探讨.首先简要介绍了雾化制粉的技术背景和当前制粉手段的常见分类,然后结合目前主要的雾化制粉设备制造商和金属粉末供应商所采用的技术及设备的核心性能指标,详细介绍了VIGA(vacuum induction-melting gas atomization)、EIGA(electrode induction-melting inert gas atomization)、VIGA-CC(water-cooled copper crucible vacuum induction-melting gas atomizing)和PREP(plasma rotating electrode-comminuting process)方法,并对雾化制粉技术及设备未来的发展方向进行了展望.

    雾化制粉粉末冶金增材制造

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    第二十一讲真空卷绕镀膜

    张以忱
    93-96页
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    征稿启事

    100页
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