期刊,电子工业专用设备 2024年卷1期_国家学术搜索

期刊信息/Journal information

电子工业专用设备

主　　编：赵璋

出版周期：月刊

国际刊号：1004-4507

电子邮箱：faith＿epe@sohu.net

电　　话：010-64655251;64674511

邮政编码：100029

地　　址：北京市朝阳区安贞里二区1号楼金瓯大厦418室

电子工业专用设备/Journal Equipment for Electronic Products Manufacturing

查看更多>>本刊为国内外公开发行的技术性刊物，以报道半导体设备及半导体产业链技术与材料为主要方向，以“公布新的科技成就，传播科技信息，交流学术思想，促进科技成果的商品化、产业化，为建设社会主义精神文明与物质文明服务”为本刊的为刊方针。发挥传媒优势，全方位服务于微电子行业的广大科技工作者。

正式出版

收录年代

VGF半绝缘GaAs单晶片的碱腐蚀特性研究

于妍吕菲李纪伟康洪亮...

48-50页

查看更多>>摘要：研究了半绝缘GaAs的碱性腐蚀液的温度、配比对半绝缘GaAs晶片的几何参数、粗糙度、腐蚀速率等的影响,根据碱性腐蚀原理;解释了腐蚀液温度对晶片翘曲度的改善原因,以及腐蚀速率随温度和配比的变化规律;实验结果表明在碱性腐蚀液中晶片的TTV和粗糙度比较稳定.

关键词：

垂直梯度凝固法(VGF)半绝缘砷化镓(GaAs)碱性腐蚀

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维普
万方数据

基于四象限传感器的物料自动校准策略研究

常美榕刁坤杰周小水刘嘉玮...

51-57页

查看更多>>摘要：为自动测量并校正物料装载前的偏移、提高物料装载精度及重复性,制定了一种物料自动校准策略,并搭建了基于四象限传感器的测量系统.物料装载至运动台前使用四象限传感器定位物料位置、姿态偏移信息并将其转化为运动台相对运动距离,以便控制运动台自动执行补偿并完成交接.通过实验验证,四象限传感器测量稳定可靠,自动校准策略可行,提升了物料传输系统的传输精度.

关键词：

四象限传感器位姿测量自动校准策略装载精度

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维普
万方数据

快慢自适应大夹持力机构设计及实验验证

田世伟周庆奎赵宏亮赵宝君...

58-62,68页

查看更多>>摘要：通过快慢自适应夹持机构的锁紧和开启可以实现部件之间紧密地连接和分离,为保证提供足够且稳定的垂向夹持力,在该机构设计过程中采用了大杠杆比例的机械原理;同时考虑到部件之间的连接需要快速完成,在该机构设计过程中考虑了气路原理设计和电气控制逻辑及方案,共同完成自动判断夹持快慢的时间段.利用精密力传感器对该机构进行夹持力的测试,测试结果表明该设计具有足够的可靠性及稳定性.

关键词：

快慢自适应气路原理设计夹持机构部件连接电控方案力测试

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维普
万方数据

柔性电子制造技术在叠压机设计中的应用研究

杨志武杰

63-68页

查看更多>>摘要：介绍了柔性电子制造技术,对R2R制造工艺的单元技术进行研究并应用于MLCC叠压机的柔性基板传输系统设计,包括放/收卷单元、纠偏控制单元、进给单元、张力控制单元,取得了较好的实际应用效果.

关键词：

柔性电子制造技术,片式多层陶瓷电容器叠压机,柔性基板传输系统

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维普
万方数据

查看更多>>摘要：为保证半导体精密运动设备内精密温度控制模块的精度及稳定性,建立了负载电机冷却水热时间常数理论计算模型,用于计算电机工作时的最大热负荷梯度,为精密温度控制模块选型提供依据.理论模型表明冷却水热时间常数主要受电机结构、材料热物性和冷却水流量影响.仿真结果表明,电机冷却水温度随时间变化基本符合时间常数理论模型,冷却水时间常数与电机热功率无关,但随着电机冷却水流量的减小而增大,仿真值与理论模型计算差值为 27%.实验结果与仿真结果基本一致,相同工况下仿真与实验得到的冷却水时间常数最大差值为 7%.

关键词：

电机冷却水热负荷梯度时间常数功率流量

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维普
万方数据

VGF半绝缘GaAs单晶片的碱腐蚀特性研究

基于四象限传感器的物料自动校准策略研究

快慢自适应大夹持力机构设计及实验验证

柔性电子制造技术在叠压机设计中的应用研究

电机冷却水热时间常数模型分析及影响因素研究