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期刊信息/Journal information
光机电信息
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月刊

1007-1180

xxfw@ciomp.ac.cn

0431-6176853

130033

吉林省长春市东南湖大路3888

光机电信息/Journal OME Information
查看更多>>本刊是一份为工程师、研究者、科学家和技术专家提供国内外有关光和现代应用光学综合消息的月刊。它从技术和商业两方面报道和分析上述领域的最新研究进展和发展趋势，其特点是信息量大且传播速度快。
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    离轴三反式多光谱相机的装调

    梅贵翟岩苗健宇
    1-4页
    查看更多>>摘要：离轴三反系统的装调是遥感相机研制中的一项难点.针对离轴三反式多光谱相机,利用多种仪器与计算机辅助装调软件相结合,对系统进行了装调.最终检测结果表明,相机各谱段实验室静态传函MTF＞0.24 (Nyquist频率处),满足指标要求.

    离轴三反系统:多光谱相机装调传函

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    极紫外多层膜光栅技术研究进展

    张立超
    5-11页
    查看更多>>摘要：极紫外多层膜光栅是一种人造二维周期性结构,它将横向结构上的光栅衍射与深度结构上的多层膜布拉格衍射相结合,使得在极紫外波段采用非掠入射、高衍射效率、高光谱分辨率的分光元件成为可能,在天文学、物理学、材料科学等领域具有广阔的应用前景.介绍了极紫外多层膜光栅的应用；从光栅衬底制备与多层膜沉积两方面对多层膜光栅制备技术的研究进展进行了分析；并从实际应用角度出发,对未来多层膜光栅技术研究的发展趋势作了展望.

    极紫外多层膜光栅衍射效率宽带多层膜

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    深紫外光照射针孔衍射特性研究

    陈峰
    12-16页
    查看更多>>摘要：采用一种非旁轴衍射理论分析了深紫外光照射系统中的参考波面,分别对理想和实拍圆孔的参考波前进行了计算.结果显示,孔的不规则度对波面的P-V值影响较大,但如果孔的不规则度在0.02之内、波面的P-V值控制在1.5％波长范围以内,能够满足实际需要.结果表明,孔的不规则度对光强的均匀性影响不大,如果要提高波面的均匀度,需要减小波面的NA大小.

    DUV检测系统波前P-V值孔的不规则度

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    镜片中心偏差测量方法发展现状

    方超于长淞
    17-21页
    查看更多>>摘要：研究了国内外镜片中心偏差主要测量方法,按其特点进行了分类,并介绍了每种方法的基本原理,分析了其测量特点和应用条件.

    中心偏差自准直干涉测量

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    光刻机投影物镜安装方式研究

    齐克奇
    22-26页
    查看更多>>摘要：不同的投影物镜安装方式对应不同的隔振方式,不同的隔振方式对投影光刻系统的图形传递能力也有较大影响.对两种主要的光刻投影物镜安装方式进行了研究,并对各自特点进行了讨论.

    投影物镜安装方式隔振方式投影光刻系统

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    信息动态

    26,31,36,62,73-92,前插1-前插2页
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    双光源DMD数字光刻系统

    余秋香易云
    27-31页
    查看更多>>摘要：基于DMD数字光刻系统,建立了一种新型的双光源DMD数字光刻系统.双光源DMD数字光刻系统由光源照明系统、DMD数字微镜、投影物镜以及CCD调焦系统等几个部分组成.实验表明,与DMD数字光刻系统相比,双光源DMD数字光刻系统具有调焦点不被曝光的优点,可用于制作光纤端面微光学器件.

    双光源DMD数字光刻

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    数字X光影像仪光机结构设计

    孟庆华
    32-36页
    查看更多>>摘要：设计了数字X光影像仪的光机结构.针对数字X光影像仪的特点和指标要求,确定了光机结构总体布局.介绍了数字X光影像仪的关键部分片盒、输片机构、激光扫描系统、荧光读取系统和消光系统的具体结构,并对输片传动机构进行了输片精度分析.检测结果表明,扫瞄轴晃动1.2″,输片精度0.015 mm.

    数字X光影像仪结构设计输片精度扫瞄轴晃动

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    精密气动定位系统的发展及应用

    袁文全巩岩
    37-44页
    查看更多>>摘要：精密气动定位系统具有高精度、高速、大行程、传动平稳、使用费用低等优点,目前广泛地应用于光刻、数控机床等诸多精密工程领域.本文按照时间顺序介绍了精密气动定位系统的发展情况,总结了精密气动定位系统的应用特点,并指出当前精密气动定位系统一些有待改进的关键技术.

    气动精密定位非线性气驱动器

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    基于色谱测量LED显示屏白场偏差分析

    岳明晶陈宇苗静郑喜凤...
    45-50页
    查看更多>>摘要：LED显示屏广泛应用的今天,对LED显示屏显示效果的要求日臻完美,但是,由于LED管芯的特性、工艺,驱动芯片设计以及生产厂家研发能力等因素,造成LED显示屏显示效果的差异性.对LED显示屏白场色温显示偏差这一现象进行研究,基于色谱测量,分析其中各基色单独显示和白场中显示色谱的变化,探讨产生差异的原因.

    LED显示屏色谱测量色谱分析白平衡

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