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期刊信息/Journal information
真空
真空

陆国柱

双月刊

1002-0322

zkzk@chinajournal.net.cn

024-24110136

110042

辽宁省沈阳市万柳塘路2号

真空/Journal Vacuum北大核心CSTPCD
查看更多>>本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。
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    高深宽比硅孔溅射铜种子层工艺的探索与研究

    付学成刘民张笛程秀兰...
    1-5页
    查看更多>>摘要：硅通孔技术(TSV)是当前非常热门的高密度封装技术,但由于常规薄膜沉积技术很难在高深宽比的硅孔内沉积铜、钨等金属种子层,硅通孔技术中存在深硅孔金属化困难的工艺问题.通过对倾斜溅射时铜原子二维非对心碰撞前后入射角度的变化关系进行模拟计算发现,当原子碰撞有能量损失时,入射到硅孔内的铜原子角度会发生改变,有助于其沉积在硅孔深处.本文利用负偏压辅助多个铜靶共焦溅射的方式,在不同深宽比的硅盲孔中沉积铜种子层,验证了该方法的可行性,并通过三靶共焦溅射成功在深宽比8∶1的硅孔内实现了铜种子层的沉积.

    硅通孔技术多靶共焦溅射铜种子层

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    基于系统回归模型的真空镀膜设备液冷加热盘设计方法研究

    李翔姜小蛟战春鸣刘昂...
    6-11页
    查看更多>>摘要：晶圆加热盘的设计有两大核心性能指标:工作面温度均匀性和控温能力,晶圆加热盘在设计定型前需要经过多次仿真迭代与测试验证,以确定产品性能满足设计需求.本研究基于有限元计算与系统回归模型,精准预测加热器实际所需长度、功率密度以及对应排布方案,以温度均匀性为优化目标,获取最优设计方案.经不同方案验证,该模型的精度在 98%以上,可显著提升加热盘设计效率,为人工智能在加热盘设计领域的应用提供可能性.此外,基于传热学理论,提出了一种加热盘控温能力的设计方法,通过一维计算的方式,为加热盘控温能力的优化设计起到了指导作用.

    半导体真空镀膜设备晶圆加热盘水冷回归模型控温能力

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    超高陡度长波通拉曼滤光片的研制

    白皓宇姚春龙董明秦瑞...
    12-16页
    查看更多>>摘要：长波通滤光片是拉曼光谱仪中滤除瑞利散射光的重要光学元件,更高的陡度能进一步提升其检测精度和范围.介绍了超高陡度长波通膜系设计方案与超多膜层高精度膜厚控制技术,基于磁控溅射技术实现了超高陡度长波通滤光片产品的制造.测试表明该产品的陡度优于 0.5%,通带波纹优于4%,可实现532 nm激光附近最低100 cm-1 的低波数拉曼检测.

    长波通滤光片陡度磁控溅射拉曼检测

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    不同试验条件对非晶硒薄膜中载流子迁移率的影响

    李瑞东金大利张梅东于立苹...
    17-21页
    查看更多>>摘要：非晶态硒(α-Se)属于无机弱电导材料,被认为是X射线医学成像和无损检测方面最有前途的探测材料之一,其载流子特性对应用至关重要.本文在恒温条件下制备了非晶态硒本征薄膜,利用SEM、XRD测试了薄膜的微观形貌和晶体结构,利用渡越时间(TOF)方法研究了温度、取样电阻及光脉冲能量对载流子迁移率的影响.结果表明:在 298～338K的温度范围内,非晶硒的载流子输运规律符合浅陷阱模型;取样电阻不大于 5 kΩ,光脉冲能量不大于 3.5 μJ时,载流子渡越时间保持恒定,测试结果可靠.

    光电子学非晶硒薄膜渡越时间方法迁移率

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    磁控溅射镀膜技术在(Cr,Ti,Al)N涂层上的应用

    赵凡项燕雄邹长伟于云江...
    22-29页
    查看更多>>摘要：过渡金属氮化物硬质涂层在切削刀具、精密模具和机械零部件等领域有着广泛的应用.随着切削技术的进步和难加工材料的增多,硬质涂层已由传统的二元涂层向着三元、四元涂层不断发展.(Cr,Ti,Al)N四元涂层因其优异的综合性能而备受研究人员的关注.本文从磁控溅射镀膜的基本原理和技术特点出发,介绍了制备(Cr,Ti,Al)N涂层常见的磁控溅射镀膜技术,分析了采用单质靶与合金靶沉积镀膜的效果及其各自的优缺点,研究了磁控溅射工艺参数对(Cr,Ti,Al)N涂层机械性能的影响,最后讨论了(Cr,Ti,Al)N梯度涂层的作用及其制备方法.本文可为设计(Cr,Ti,Al)N涂层制备工艺、改善(Cr,Ti,Al)N涂层性能提供理论参考与指导.

    (Cr,Ti,Al)N涂层磁控溅射靶材选择工艺参数梯度涂层

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    大型串联电子束熔炼炉抽真空系统设计研究

    宋涛张柏诚王春雷姜正鹤...
    30-34页
    查看更多>>摘要：针对目前大型串联电子束熔炼炉抽气系统设计选型困难的问题,提出了一套电子束熔炼炉抽气系统设计方法.首先按照真空炉体的气体载荷计算有效抽速,粗选主泵,并用有效抽速和抽真空系统的流导验算主泵的抽速;其次对主泵的前级以及真空炉体的预抽泵进行选型,计算前级泵与预抽泵的抽速;再次计算粗抽时间与抽高真空时间以验证选型的合理性;最后通过试验对设计的电子束熔炼炉系统进行验证.结果表明,所设计的炉体抽真空系统粗抽时间与高真空抽气时间略高于计算时间,极限真空度优于设计要求.该方法计算结果与试验结果具有较高的一致性,可满足类似大型真空熔炼炉的抽真空系统设计需求.

    电子束熔炼炉抽真空系统抽真空时间真空选型

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    脉管制冷机的研究进展及其仿真优化

    姜远镇邓家良韩雨松武义锋...
    35-41页
    查看更多>>摘要：脉管制冷机具有高稳定性、持久运行和低振动等特性,符合高真空设备低温泵对冷源的要求,在低温真空泵领域的关注度越来越高.本文首先介绍了脉管制冷机的基本原理和分类,然后按照驱动方式总结了不同脉管制冷机的最新研制进展,最后重点分析了不同仿真方法在脉管制冷机研发和优化过程中的实际应用.

    低温真空泵脉管制冷机仿真优化

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    大抽速、高容积KDCP-16低温泵研制

    卢政阳管承红杨晨陈杰...
    42-46页
    查看更多>>摘要：介绍了中船鹏力(南京)超低温技术有限公司自主研制的大抽速、高容积KDCP-16低温泵,对其抽速和热负荷进行了理论计算,并测试了其主要性能指标(抽速、降温时间、抽气容积、渡越容量).结果表明,KDCP-16 低温泵N2 抽速为 6 550 L/s,Ar抽速为 5 650 L/s,降温时间为 110 min,Ar抽气容积为7 550 std·L,渡越容量为6.7×104 Pa·L,各项性能指标均优于国外同尺寸低温泵.

    低温泵抽速降温时间抽气容积渡越容量

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    活塞压缩机整机振动分析与试验研究

    常学森王一婷赵月葛盼...
    47-51页
    查看更多>>摘要：为验证新设计的活塞压缩机整机运转的可靠性,对压缩机进行有限元模态仿真分析和临界振动响应测试.首先建立活塞压缩机的三维模型,并对其进行合理优化,设置工作边界条件后,完成有限元模态仿真分析,获得压缩机在此条件下的整机临界振动响应频率理论分析结果.然后对压缩机整机进行临界振动响应测试,获得压缩机前六阶的实时工作模态.试验结果与有限元模态分析结果对比分析表明,二者存在一些误差,但规律一致,整机不会发生破坏性临界共振现象.

    活塞压缩机振动分析测试

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    耦合器热窗的极限真空方案模拟分析

    岳泰何超峰王希龙孙兴中...
    52-57页
    查看更多>>摘要：深圳中能高重复频率X射线自由电子激光装置(简称S3FEL)注入器 1.3 GHz低温超导加速模组的高功率耦合器热窗的真空泵端口通过角阀连接到真空总管,从而便于安装、检漏和故障诊断.为了保证超导加速模组降温前耦合器热窗的极限压力达标,通过理论计算与软件模拟,对比验证了在不同方案下耦合器所能维持的极限真空度.结果表明:未经处理的耦合器A管采用单台离子泵方案,其极限真空度未能达到实际工程指标;而高温烘烤耦合器A管后,其极限真空度达到 10-7 Pa量级,优于实际工程指标;耦合器A管设置两台离子泵后极限压力下降 50%,可通过继续增加离子泵数量的方法使其满足工程指标.

    低温模组耦合器热窗真空

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