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期刊信息/Journal information
压电与声光
压电与声光

胡少勤

双月刊

1004-2474

ydsgsipat@yahoo.com.cn

023-62919570；62919643

400060

重庆市南岸区南坪花园路14号

压电与声光/Journal Piezoelectrics & AcoustoopticsCSCD北大核心CSTPCD
查看更多>>本刊是由信息产业部电子第26研究所主办并公开发行的专业性科技刊物。全国中文核心期刊，中国科学引文数据库统计源，美国Ei数据库收录源。主要报道声表面波技术，声光与光纤技术，压电及其他功能器件，单晶、薄膜及其他功能材料，实验技术与测试方法，以及压电与声光技术等领域的科研成果、发明创造、科技述评，国外在压电、铁电、声电、声光、电光等方面的各种功能器件和陶瓷、单晶、薄膜材料等新技术、新产品、新动向等。
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    钽酸锂单晶薄膜的退火处理与微结构分析

    杨杰高艺卓朱代磊帅垚...
    545-549页
    查看更多>>摘要：离子注入剥离技术制备的钽酸锂单晶薄膜可用于高品质因数和低热漂移窄带射频滤波器,但高能离子注入使钽酸锂薄膜存在缺陷及晶格损伤,限制了器件性能的提升,无法充分发挥单晶薄膜的性能优势.使用退火工艺对钽酸锂薄膜进行损伤修复,采用拉曼光谱对不同温度退火的钽酸锂薄膜进行表征测试,分析了退火温度对钽酸锂薄膜成分和缺陷的影响.结果表明,退火处理修复了钽酸锂薄膜的锂空位缺陷,降低了钽酸锂薄膜的氧空位等成分偏析.

    钽酸锂单晶薄膜退火处理拉曼光谱晶体缺陷薄膜成分偏析

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    MEMS压电矢量水听器低噪声前置放大电路

    邓威樊青青李俊红马军...
    550-554页
    查看更多>>摘要：等效自噪声是微机电系统(MEMS)压电矢量水听器重要的性能指标,前置放大电路的噪声是其主要来源之一.为降低MEMS压电矢量水听器的自噪声,设计了一种低噪声前置放大电路.采用双JFET并联电路结构,辅以合适的偏置电路,对不同噪声源进行理论分析,优化电路参数,最终实现了噪声性能较优的低噪声前置放大电路的设计与制备.测试结果表明,在 MEMS压电矢量水听器的工作频带内,低噪声前置放大电路信号放大无失真,电压增益为43.8 dB,等效输入噪声电压谱密度为0.7 nV/√Hz@1 kHz,其噪声性能较国内外同类型的放大电路具有一定优势.

    等效自噪声MEMS压电矢量水听器前置放大电路1/f噪声噪声电压谱密度

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    大行程解耦微定位平台的设计与研究

    胡高峰逯俊体贾传明戚厚军...
    555-561页
    查看更多>>摘要：针对目前研制的微定位平台行程小及耦合误差大等问题,提出了一种由压电作动器(PEA)驱动的二自由度微定位平台,设计了由二级杠杆放大机构和Scott-Russell机构串联组成的三级位移放大器,以扩大工作行程.采用平行轴式直圆型柔性铰链与并联构型的双复合式平行移动副消除运动耦合误差.通过有限元仿真和实验对平台性能进行了分析与测试.结果表明,设计的微定位平台工作行程超过170 μm×170 μm,耦合误差小于1.2%,位移分辨率可达5 nm,信号跟踪误差最大为2.16%,验证了微定位平台的定位精度和模型的正确性.

    微定位平台柔性机构解耦XY平台运动耦合误差性能测试

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    尺蠖式压电陶瓷电机的双模式驱动器开发与研究

    韩硕杨晓峰
    562-569页
    查看更多>>摘要：尺蠖式压电陶瓷电机具有小尺寸,长行程,纳米级定位和大推力的特性,被广泛应用于集成电路装备和精密运动平台中.然而目前受其驱动器约束,难以实现长行程运动时高精度定位、位移可控和速度可控,因而无法应用到具有高推力、高速度和长行程纳米级精度定位的集成电路7 nm工艺IC芯片检测装备中.提出并开发了一种双模式驱动器,基于电荷效应和应力效应原理分别建立了位移-电压和速度-频率的控制模型.采用滑模控制的方法解决了在双模式驱动器大电压输出时的纹波问题,提高了尺蠖式压电陶瓷电机输出的位移分辨率.通过实验对双模式驱动器进行了硬件性能和控制模式验证,同时验证了尺蠖式压电陶瓷电机的运动特性.

    尺蠖式压电陶瓷电机双模式驱动器滑模控制大电压低纹波

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    基于权重系数调控的阵列天线阵元方向布局优化

    牟健慧王建汤易卢玉娇...
    570-575,581页
    查看更多>>摘要：研究建立了一种基于权重系数调控的阵列天线阵元方向布局优化方法.该方法以阵列天线最大增益和最大旁瓣之差的加权和为适应度函数,通过合理选取主辐射方向增益与最大旁瓣之差和最大增益的权重系数,实现了阵列天线高增益、低旁瓣的设计需求,讨论了不同权重系数下的优化结果,并总结了权重系数调控阵列天线辐射性能的规律.采用基于矩量法的全波分析方法进行分析,充分考虑了阵列天线各阵元耦合场的影响.基于遗传算法求解了该文提出的优化问题,并实现了线性和平面偶极子阵列天线各阵元方向布局的优化设计.结果表明,当线性和平面阵列天线方向布局优化设计的权重系数分别取0.45和0.9时,所建立的优化方法不仅降低了旁瓣电平和交叉极化增益,并且能够保证主辐射方向增益下降不大,从而验证了该方法的可行性和有效性.

    阵列天线阵元方向布局线性阵列平面阵列权系数矩量法

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    压电喷墨驱动波形和残余振荡研究

    武秋敏李飒马依礼朱慧敏...
    576-581页
    查看更多>>摘要：压电喷墨打印头的结构、驱动波形等直接影响墨滴的喷射特性和打印精度.运用数值仿真软件COMSOL建立了压电喷墨打印头系统模型,研究了驱动参数(电压幅值、电压停留时间、工作频率)对喷射特性(液滴速度和体积)的影响规律.最后,设计了双极驱动波形来抑制残余振荡.结果表明,该消振波形能有效地抑制残余振荡,提高了喷墨打印头的工作频率和稳定性.

    压电喷墨流体仿真驱动波形墨滴特性残余振荡

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    声共振风传感器用全相位风速风向解算方法

    王飞王登攀王露曾祥豹...
    582-585,595页
    查看更多>>摘要：提出了一种超声波共振式全相位风速风向解算方法,搭建以间距L呈等边三角形分布的3个超声波换能器A、B、C,测量了超声波换能器A、B、C回波初相,根据得到的回波初相解算出从顶点无角度直接吹风和从顶点有角度吹风情况下的风速与风向数据.结果表明,该文建立的全相位风速风向解算方法连续无奇点,与其他方法相比,在输入量相同的情况下风速波动较小,风向解算较准确.

    超声波共振式回波初相全相位风速风向解算方法

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    局域共振声学超材料耦合效应研究

    项兴华雷怡俊胡志明刘金涛...
    586-590页
    查看更多>>摘要：针对传统的声学超材料存在降噪频率窄、造价成本过高、实现难度大等诸多问题,提出一种带柔性薄膜结构的Helmholtz共振腔声学超材料结构,以局域共振耦合效应现象为出发点,推导出Helmholtz共振腔和柔性薄膜的数学模型.运用COMSOL Multiphysics软件对模型进行仿真分析,研究表明,该结构产生了2个局域共振峰值.为了实现对声学超材料消声频带的控制,向薄膜内注入液体.实验测试表明,当注液量从0增至35 mL时,薄膜峰值处的共振频率从612 Hz偏移到446 Hz,偏移量为166 Hz.所设计的局域共振声学超材料在频带范围内对低频噪声具有良好的控制效果,为声学超材料的设计提供了一种方法.

    局域共振声学超材料噪声Helmholtz共振腔

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    氢离子注入钽酸锂的翘曲变化及颗粒研究

    龙勇肖梦涵陈哲明邹少红...
    591-595页
    查看更多>>摘要：声表面波(SAW)滤波器急需使用高质量的钽酸锂压电单晶复合薄膜衬底材料来提升性能.离子注入后,晶圆翘曲增大,颗粒增加,键合工艺易产生不规则条纹和键合空洞等缺陷,严重阻碍高质量钽酸锂压电单晶复合薄膜材料的制备.通过X线衍射(XRD)、聚焦离子束透射电镜(FIB-TEM)及颗粒测试仪等设备对注入内部应力、损伤和颗粒变化进行分析表征,解释了翘曲增大和颗粒增多的原因,并提出了相应的解决方法,最后成功制备了翘曲低、颗粒少的注入晶圆.通过键合工艺进一步验证,获得了无条纹和空洞等缺陷的高质量键合晶圆,为钽酸锂压电单晶复合薄膜的高效制备奠定了基础.

    离子注入钽酸锂压电晶圆翘曲颗粒键合

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    半球谐振陀螺工作寿命特性研究

    周强李维志方海斌彭芹...
    596-602页
    查看更多>>摘要：半球谐振陀螺仪(HRG)是一种高精度、高可靠、长寿命的新型固体振动陀螺仪,在宇航领域有广泛的应用前景.分析了影响半球谐振陀螺工作寿命的主要因素,采取措施以提高陀螺工作寿命,并持续开展陀螺寿命试验,验证了半球谐振陀螺主要指标的长期性能.结果表明,半球谐振陀螺在长期通电工作过程中,性能稳定,工作寿命可达20年,满足深空探测器等执行长期空间任务的应用需求.

    半球谐振陀螺仪长寿命特性寿命验证试验

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