期刊,真空 2024年卷1期_国家学术搜索

期刊信息/Journal information

真空

主　　编：陆国柱

出版周期：双月刊

国际刊号：1002-0322

电子邮箱：zkzk@chinajournal.net.cn

电　　话：024-24110136

邮政编码：110042

地　　址：辽宁省沈阳市万柳塘路2号

真空/Journal Vacuum北大核心CSTPCD

查看更多>>本杂志是中国真空界主要杂志之一。自1994年真空杂志转换经营机制以来，由我国真空企业界实力雄厚的厂家与杂志社联办成立董事会，并由真空学术界著名学者组成编委会。社会效益与经济效益与日俱增，在国内真空界享有盛誉。自1989年公开发行以来，被美国、英国、德国、日本、意大利、韩国以及港澳地区越来越多的海外学者所关注。

正式出版

收录年代

脉冲阴极弧等离子体及有关特性研究

武洪臣杨丽媛

1-9页

查看更多>>摘要：阴极弧(Cathodic Arcs)是目前多种薄膜及涂层制备工艺的重要物质来源.从阴极表面起弧形成阴极斑点、产生等离子体(相变)、等离子体在真空室中的扩展(输运),到最终在施加偏压的基体上沉积、凝聚形成涂层或薄膜,这一系列环节包含着复杂的物理过程.对这些过程及相关机制的深入分析与认识,无疑会对涂层制备工艺起到重要的理论指导作用.本文简要回顾了人类对阴极弧有关的放电现象的认识过程以及相关涂层的发展历史.对阴极放电机制以及与涂层工艺密切相关的等离子体行为,诸如脉冲阴极弧等离子体速度、鞘层、斜入射与附着系数等问题进行了探讨与实验结果的汇总.旨在为读者对阴极弧及其涂层工艺提供感性认识,为指导科研生产实践服务.

关键词：

阴极弧脉冲阴极弧等离子体等离子体鞘层斜入射附着系数

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维普
万方数据

掺杂氧化铪基薄膜铁电性能的研究进展

乌李瑛刘丹付学成程秀兰...

10-20页

查看更多>>摘要：铁电薄膜的研究多集中于钙钛矿结构材料,然而,这些传统的铁电材料存在与硅Si兼容性差、含铅而污染环境、物理厚度大、电阻低、带隙小等问题.不同的掺杂剂,如Si、Zr、Al、Y、Gd、Sr和La可以在HfO2薄膜中诱导铁电或反铁电性,使其剩余极化率达到45 μC·cm-2,矫顽力(1～2 MV·cm-1)比传统铁电薄膜大约1个数量级.同时,HfO2薄膜厚度可以非常薄(低于10 nm),并具有很大的带隙(约5 eV).这些优于传统铁电材料的特质可以克服包括铁电场效应晶体管和三维电容传统铁电材料等在薄膜存储器应用中的障碍.除此之外,反铁电薄膜的热电耦合性将有望用于能量收集、存储、固态冷却和红外传感器等多种应用中.HfO2掺杂薄膜可以通过不同的沉积技术如ALD、溅射和CSD来制备,其中ALD技术沉积的薄膜优势更加明显.本文综述了近年来掺杂HfO2薄膜材料铁电性和反铁电性的研究进展,详细介绍了不同掺杂元素、薄膜厚度、晶粒尺寸、电极、退火及应力等对薄膜铁电性的影响.

关键词：

原子层沉积氧化铪薄膜掺杂铁电性极化

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万方数据

亚纳米孔石墨烯复合薄膜新型标准漏孔制备及其渗氦性能研究

刘招贤孟冬辉任国华张骁...

21-26页

查看更多>>摘要：标准漏孔是氦质谱检漏仪的校准装置,为了提高氦质谱仪检漏灵敏度,必须降低标准漏孔漏率下限.针对目前传统材料加工制作的标准漏孔难以通过改进加工工艺降低漏率下限的情况,利用CVD法制作了一种亚纳米孔石墨烯复合薄膜新型标准漏孔,研究了其渗氦性能和制备工.艺稳定性.结果表明:单层石墨烯/PMMA复合薄膜单位面积漏率为4.17× 10-12～1.09× 10-11 Pa·m3/(cm2·s·Pa),通过调节新型材料渗透面积,可制作漏率下限达10-12Pa·m3/s量级的标准漏孔.

关键词：

石墨烯标准漏孔极小漏率

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不同温度下氮化铬薄膜的疏水性能研究

赵祯赟陈定君郭圆萌杨皓...

27-33页

查看更多>>摘要：利用电弧离子镀膜技术,以硅片、不锈钢、玻璃片为基底,在脉冲偏压分别为50V、100V、150V的条件下制备了三组氮化铬薄膜样品,对其物相、表面形貌、力学性能及不同温度下的疏水性能进行了分析研究.结果表明:所制备薄膜样品组分单一,表面存在些许"大颗粒",当脉冲偏压为100 V时"大颗粒"数量最多;氮化铬薄膜力学性能优良,150 V脉冲偏压下沉积的薄膜具有较高的硬度和杨氏模量,50 V脉冲偏压样品具有较高的膜基结合力;常温(20℃)下薄膜疏水性均较好,基底材料对疏水性能影响不大;各组薄膜疏水性能随环境温度的增加而降低,当环境温度上升至80℃时脉冲偏压为50 V的薄膜丧失疏水性能,脉冲偏压为100 V的薄膜样品疏水性能整体较优.

关键词：

氮化铬薄膜温度疏水性能力学性能

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万方数据

PECVD法制备石墨烯过程中不同生长阶段H2的作用分析

黄光宏李迪李娜甄真...

34-40页

查看更多>>摘要：石墨烯作为一种性能独特的新型二维材料,在航空航天、电子器件、医学生物等领域具有巨大的发展潜力.采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法,以铜箔为基底,利用氢气和甲烷混合气体制备了石墨烯,研究了生长及冷却阶段H2对石墨烯形核及生长的作用机理.结果表明:在PECVD过程中,石墨烯生长前采用H2等离子体对铜基底预刻蚀会导致基底粗糙度增加,从而产生较多的形核位点,不利于低密度大尺寸石墨烯晶粒的生长;生长过程中H2会对多层石墨烯刻蚀,较高的H2流量下可以形成单层石墨烯;生长结束后通入H2保温一定时间,石墨烯会被刻蚀成条带状,这种刻蚀随着保温时间的延长而加剧.

关键词：

石墨烯等离子体辅助化学气相沉积H,等离子体

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脉冲激光沉积ZnSe∶Cox纳米晶薄膜的微结构及光学性质研究

李树锋王丽高东文

41-46页

查看更多>>摘要：采用脉冲激光沉积技术在基片温度为800℃条件下制备了不同Co含量的ZnSe∶Cox(x=0.1,0.3,0.5)微晶薄膜.通过X射线衍射、原子力显微镜、X射线光电子能谱、红外透射光谱及光致发光光谱分析了薄膜的微结构及光学特性.结果表明:所制备的纳米晶薄膜结晶质量优秀,具有(111)择优取向,薄膜结晶质量、光谱透射率和光学带隙均随Co含量的增加而减小;薄膜在波长约700～850 nm处存在一吸收带,这源于Co2+在周围Se2-构成的四面体晶场中4A2(4F)→4T1(4P)能级之间的跃迁;当Co掺入量x=0.5时,薄膜达到过掺杂状态,α-Co杂质相出现,薄膜红外光致发光谱大幅降低.

关键词：

脉冲激光沉积硒化锌掺钴薄膜光学性质

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万方数据

一种腰部为椭圆线的罗茨真空泵转子型线设计与分析

李正清韩仙虎蔡宇宏杨建斌...

47-51页

查看更多>>摘要：转子作为罗茨泵的关键零部件之一,对产品的整机性能具有重要影响,而转子设计的核心是转子型线的设计.本文以腰部椭圆线为基础开展转子型线设计,转子位于节圆内的型线由椭圆线构成,位于节圆外的型线由椭圆线的共轭曲线组成.设计中首先确定位于腰部的椭圆线及其啮合角,然后应用两个转子间的啮合关系,分析求解型线位于节圆外的共轭曲线,从而获得整个转子型线.最后,设计了抽速为70 L/s的罗茨泵转子,并分析了转子容积利用率与独立可变参数的关系.该型线与顶部为椭圆线的转子型线相比,容积利用率可大于50％,优势明显.

关键词：

罗茨真空泵椭圆共轭曲线容积利用率

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等螺距螺杆真空泵内气体流动的数值模拟研究

何天一岳向吉张志军巴德纯...

52-57页

查看更多>>摘要：应用计算流体力学(CFD)方法对螺杆干式真空泵进行数值模拟计算,建立了针对螺杆干式真空泵流场的分析方法.对泵腔中流动区域进行三维建模,采用SCORG和ANSYS-ICEM软件对转动域和固定域分别进行了网格划分,利用瞬态模拟方法得到了泵内压力场、速度场和温度场的分布情况,并计算出抽气速率等参数.网格无关性分析结果与理论数据对比表明数值模拟结果可靠,符合预期.

关键词：

螺杆真空泵CFD动网格数值模拟

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特种合金生产过程中VIDP炉真空系统分析及优化应用

张万福李强李军刘嘉学...

58-63页

查看更多>>摘要：结合特种合金实际生产过程,从设备配置、抽空能力等方面对德国ALD公司VIDP炉真空系统进行分析,并给出了若干优化应用措施.提出将罗茨泵的启停间隙控制在120～180 s;低真空系统两套并联泵组的模式开关开启阈值分别设定为1 000 Pa和2 500 Pa;根据特种合金易挥发的特性,给出罗茨泵各部位维修保养周期(3～12个月不等),以及合金熔炼过程中充氩破空的具体操作流程;最后针对VIDP-300型炉的真空系统提出提升抽空能力的改造建议.

关键词：

VIDP炉真空系统优化真空泵组特种合金

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真空系统在模拟火星表面低气压环境的应用

刘中博

64-67页

查看更多>>摘要：火星一直被认为是太阳系中除地球外生命最有可能繁盛过并生存至今的地方,故而对其表面环境的模拟,对火星探索起着重要的作用.本文依托于XX大学空间模拟装置火星尘舱系统项目的需求,设计了一套火星表面低气压环境模拟系统,采用真空泵组降低火星尘舱内的气压,采用气动调节型阀门进行高精度动态压力调节,维持舱内压力稳定,详细介绍了系统设计技术参数、组成、工况及抽速计算流程.

关键词：

火星表面环境模拟低气压环境真空调节阀

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